和参考意义!
“我是负责高性能EUV光刻胶项目的……”第一位项目负责人不以为然地接过电脑,查看起来眼前的制造方案。
高性能EUV光刻胶需要具备高分辨率、低LER,线边缘粗糙度、良好的感光性能等,华夏在EUV光刻胶的研发和生产上与国外存在不小差距。
他们团队对该领域有着极高的造诣,但是研究了几年时间了,依然没能有太大进展。
所以对眼前的这高性能EUV光刻胶本能的产生质疑的态度。
然而很快!
他发觉到了不正常的情况,眼前的高性能EUV光刻胶制造方案无论是在设计上,还是其他方面都是远超自己的团队研究的成果!
并且根据上面提供的详细数据推算,皆是没有发现任何问题,这让他顿时震惊无比!
“这高性能EUV光刻胶的制造没有问题……”
最终,他带着震惊和不可置信宣布着结果,将电脑传给了下一个人。
同样,下一位项目负责人一开始也是不以为然,不过很快在一番研究推测之后,同样发现没有任何问题,内心震惊不已!
于是……
“下一位。”
“没有问题!”
“下一位。”
“没有问题!”
……
经过半天众多项目负责人的验证后,皆是没有发现任何问题!
他们看到的制造方案,以及各项数据,甚至连一个线条,小数点都没有错误!
当众人意识到这点,脑中不约而同地闪出一个不可置信的念头。
那就是华夏研制出了光刻机的制造方案,并且是光刻机涉及的各个领域都得到了重大的突破!
“这什么时候的事情?我怎么不知道?”
“我也好奇呢,按理说华夏没有团队在这方面的研究能超过我们啊!”
“刚刚那制造方案,还有设计思路,负责该领域研究团队,绝对是一个顶尖的团队!”
……
正当项目负责人疑惑之际。
王怀恩拿着电脑,在众人的注视下,来到了钟鸣的跟前缓缓问道。
“这光刻机制造方案你是哪里来的?”